13022_3_SENSORCATALOG


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顕微鏡ユニットFS70対物レンズMPlanApoシリーズGPlanApoシリーズNIRシリーズNUVシリーズUVシリーズ●接眼観察部付きコンパクト顕微鏡ユニット(観察対象は、金属表面・半導体・液晶・樹脂など様々)●YAGレーザー(近赤外・可視・近紫外・紫外)による微細加工対応※1(半導体回路のカット/トリミング/修正/マーキング、薄膜<絶縁膜>の除去/加工、液晶カラーフィルタのリペアなど)●赤外観察に対応※2●多彩な観察法に対応した機種をラインアップ(明視野/暗視野/簡易偏光/微分干渉観察)●落射照明光学系に開口絞り付ケーラ照明を標準装備●顕微鏡下での高い操作性(インワードレボルバ、長作動距離対物レンズ)※1:レーザー発振器搭載システムの総合性能及び安全性は保証いたしかねます。※2:赤外光源や赤外カメラ等が別途必要。また、赤外観察の詳細に関しては最寄りの営業所にお問い合わせください。FS70ZFS70L※接眼レンズ・レボルバ・対物レンズは、オプションです。FS70L4FS70L378-166-1FS70L-TH378-166-3●●FS70L4378-167-1FS70L4-TH378-167-3●●--FS70Z-TH378-165-3FS70ZDお問い合わせくださいFS70ZD-THお問い合わせください正立像●●●2410×(視野数24)・15×(視野数16)・20×(視野数12)ジーデントップ型、調整範囲:51〜76mm0〜20°-THのみ)、アイポイント移動量約114mm固定式※1(接眼/TV=50%/50%)FS70Z378-165-1--●●●固定式(接眼/TV=50%/50%)●●●-切換式(接眼/直筒=100%/0%:0%/100%)Cマウント(アダプタB※2使用)アダプタBで同焦調整1〜2×(可視補正)ズーム内蔵-仕様標準接眼仕様ティルティング接眼仕様コードNo.符号符号コードNo.観察像明視野明暗視野簡易偏光微分干渉接眼レンズ(必須オプション)視野数眼幅調整ティルト角度鏡筒三眼鏡筒光路カメラポートマウント部防護フィルタ結像(チューブ)レンズレーザーポート光学系マウント部合焦部粗微動移動量落射照明光学系照明装置(オプション)レボルバ(必須オプション)対物レンズ(必須オプション)観察用レーザー加工用鏡筒部積載可能質量※3本体質量切換式(接眼/直筒=100%/0%:0%/100%)Cマウント仕様(同焦調整機構)Cマウント仕様(グリーンフィルタ切換機構付)(同焦調整機構)レーザー光カットフィルタ内蔵1×(近赤外〜可視〜近紫外補正)内蔵倍率:1×波長:355/532/1064nmYAGレーザー発振器(基本・第2・3高調波)搭載可1×(可視・紫外補正)内蔵倍率:1×波長:266/532nmYAGレーザー発振器(第2・4高調波)搭載可一軸粗微動(粗動:3.8mm/1回転、微動:0.1mm/1回転)50mm、左右ハンドル明視野落射照明(ケーラ照明・開口絞り付)ファイバ照明装置(LED)No.176-386)、150Wファイバ照明装置(No.176-316)無段階ボリューム調光式、ライトガイド長=1500mm調心同焦マニュアルレボルバ4穴調心同焦マニュアルレボルバ4穴マニュアルレボルバ4穴/調心電動レボルバ5穴/電動レボルバ4穴MPlanApo/MPlanApoHRMPlanApoSL/GPlanApoBDPlanApo-約14kg(-TH:約13.2kg)6.6kg(-TH:7.4kg)/調心電動レボルバ5穴MPlanApo/MPlanApoHRMPlanApoSL/GPlanApoNIRシリーズ/NUVシリーズ※レーザー発振器の使用波長から選択UVシリーズ約13.9kg(-TH:約13.1kg)6.7kg(-TH:7.5kg)※1:FS70ZD-THは切換式になります。※2:オプション装着になります。※3:レボルバ・対物レンズ・接眼レンズの各々の質量は含まれません。注)対物レンズMPlanApo1×をご使用の際は、偏光装置(No.378-092または378-094)の併用をお奨めします。注)FS70L、FS70L4にYAGレーザー発振器を取付けてご使用される際、・レーザー入力値やエネルギー密度等にご注意ください。光学系に損傷を与えるおそれがあります。・レーザー発振器の重量をご確認ください。また、高速・高加減速装置に搭載の際はご相談ください。9-10


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