L-14 仕様、価格、デザイン（外観）ならびにサービス内容などは、（予告なしに変更することがあります。あらかじめご了承ください。）L525シリーズ フォームトレーサ エクストリーム（CNC表面性状測定機）CS-5000CNC/CS-H5000CNCアクティブ制御方式を採用したワイドレンジ検出器CS-H5000CNC（Y軸テーブル付き仕様）■仕様※●表面粗さと輪郭形状を一括測定可能な、高精度触針式CNC表面性状測定機です。●X1軸の最大駆動速度は40 mm/s、（Y）、Z2軸の最大駆動速度は200 mm/s。高速位置決めができ複数断面測定や複数ワーク測定の高いスループット化が可能です。●X1軸、Z1軸には高分解能リニアエンコーダを搭載し、X1軸、Z1軸共に高分解能を実現し、輪郭形状・表面粗さの一括測定に対応しています。●Z1軸検出器にはアクティブ制御方式を採用し動的測定力の変動を抑えたワイドレンジ測定が可能です。●Z1軸検出器には衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止します。●CS-5000CNCシリーズは、X1軸を電動傾斜でき、水平面、斜面の連続測定が可能です。●Y軸テーブル付きでは複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大できます。●PLC（プログラマブルロジックコントローラ）との双方向通信（RS-232C）による外部制御機能（Ext I/O）をオプションでご用意しております。※ 測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。検査成績書を標準で添付しています。 詳細はU-15ページをご参照ください。測定データ出力機能付きの製品は、計測データネットワークシステム MeasurLinkに接続可能です。（詳細はA-25ページ）符号CS-5000CNCCS-H5000CNCX1軸測定範囲200 mm分解能0.005 µm測長ユニット透過形リニアエンコーダ駆動速度CNCモード最大40 mm/sジョイスティックモード0～40 mm/s測定速度粗さ測定時：0.02、0.05、0.1、0.2 mm/s、輪郭測定時：0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0 mm/s測定方向引き、押し両方向真直精度標準長さスタライス使用時（0.1＋0.0015L）µm L：駆動長さ（mm）（0.05＋0.0003L）µm L：駆動長さ（mm）2倍長さスタライス使用時（0.2＋0.0015L）µm L：駆動長さ（mm）（0.1＋0.0015L）µm L：駆動長さ（mm）指示精度（20℃）±（0.3＋0.002L）µm L：駆動長さ（mm） ±（0.16＋0.001L）µm L：駆動長さ（mm） α軸傾斜角度－45°（CCW）、＋10°（CW）—Z1軸（検出部）測定範囲標準長さスタライス使用時12 mm2倍長さスタライス使用時24 mm分解能標準長さスタライス使用時0.0008 µm0.0008 µm2倍長さスタライス使用時0.0016 µm0.0016 µmスタライス上下運動円弧運動測長ユニット透過形リニアエンコーダ指示精度（20℃）±（0.3＋｜0.02H｜）µm H：測定高さ（mm）±（0.07＋｜0.02H｜）µm H：測定高さ（mm）測定力標準長さスタライス使用時4 mN一定2倍長さスタライズ使用時0.75 mN一定追従角度登り60°、下り60°（面性状による）スタライス 先端形状標準長さスタイラス先端半径5 µm、先端角度40°、ダイヤモンド標準長さポールスタイラス先端ボール半径0.25 mm、サファイヤ2倍長さスタイラス先端半径5 µm、先端角度40°、ダイヤモンド2倍長さスタイラス—先端半径2 µm、先端角度60°、ダイヤモンド2倍長さポールスタイラス先端ボール半径0.25 mm、サファイヤ測定面方向下向きZ2軸（コラム）移動範囲Z2軸タイプ：S300 mmZ2軸タイプ：H500 mm分解能0.05 µm測長ユニット反射形リニアエンコーダ駆動速度CNCモード最大200 mm/sジョイスティックモード0～50 mm/sベース部ベースサイズ（幅×奥行）750×600 mmベース材質斑れい岩
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