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マイクロメータヘッド148シリーズマイクロメータヘッド(高機能形)MHS-A/MHC-A/MHT/MHT-Aファインピッチ(0.1mmピッチ)■スピンドルピッチ●スピンドルピッチ0.1mmの高精度ねじ加工技術の実現により、従来の0.5mmピッチに対し、1/5の微細送りを可能にしました。●外観形状は従来の標準タイプ(0.5mmピッチ)と互換性を持たせていますので、簡単に交換ができます。●半導体装置のテーブル送り、光学用光軸調整装置の微細送りなどに使用できます。■仕様コードNo.符号測定範囲(mm)目量(mm)0.0020〜6.5MHS3-6.5FPAMHS4-6.5FPAMHC3-6.5CFPAMHC4-6.5CFPAMHT3-6.5FPAMHT4-6.5FPAMHT3-5FPMHT4-5FP148-142-10148-143-10148-342-10148-343-10148-242-10148-243-10148-244148-245●測定面:材質/合金工具鋼、硬度/60HRC以上、ラップ仕上げ●目盛部表面処理:硬質クロムメッキ注:推奨耐荷重限度に関してはB-113を参照ください。0〜50.004ステム形状ストレートナット付きストレートナット付きストレートナット付きストレートナット付き■外観寸法図ストレートステム先端形状目盛仕様最大許容誤差JMPE(µm)球面(SR4)球面(SR3)球面(SR1.5)正目盛±2±5標準価格11,600円12,100円11,300円11,900円12,000円12,400円13,200円13,800円単位:mm●推奨板厚寸法:6mm148-143-10MHS4-6.5FPA質量:34g注:()内の寸法はストロークエンドでの寸法です。B-98止めねじ05スリーブ標識図ø133.531.5(38)ø9.50-0.009ø14ナット付きステム先端球面20100908049.5(17)23.5ナットM9.5×0.5SR4ø5148-142-10MHS3-6.5FPA質量:31gナット付きステム05スリーブ標識図ø133.531.5(38)2010090809.5(17)23.5SR4ø5ストレートステム先端球面ø9.50-0.009止めねじピッチ=0.1mmピッチ=0.5mm■用途●半導体装置のテーブル送り、光学用光軸調整装置の微細送りなど●X-Yテーブルでの使用例●ミラーホルダーでの使用例■ミラーホルダーでの使用例■MHS-A、MHS取付位置比較6.5(作動範囲)(55)20.59.5目盛:3mmの位置33.50201009080ファインピッチ(スピンドルピッチ0.1mm)目盛:6.5mmの位置13(作動範囲)9.520.5標準形(スピンドルピッチ0.5mm)(58.5)105045406.56.505注:0.1mmピッチのMHS-Aタイプは測定範囲が6.5mmに対し、標準(0.5mmピッチ)のMHSタイプは13mmとなっています。0.5mmピッチ品から交換した場合、0.1mmピッチ品の測定範囲は図のように測定範囲の中央部分で共用できるようになっています。MHT、MHT-A、MHC-Aタイプは完全互換です。
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