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■適用画像測定機ウルトラクイックビジョン(超高精度CNC画像測定機)ULTRAQV●測定精度E1XY(0.25+L/1000)µmを実現した超高精度CNC画像測定機です。●X,Y,Z各軸に自社開発の高分解能(最小表示量:0.01µm)、高精度の低膨張ガラススケールを使用しています。●高剛性の固定ブリッジY軸テーブル移動構造を採用、ベースには経年変化の少ないグラナイトを使用しています。●測定機本体温度センサと測定物温度センサを用いた自動温度補正を標準装備しました。ULTRAQV404■仕様項目測定範囲(X×Y×Z)観察装置撮像素子名称画像測定精度※1E1X,E1YE1Z(フルストローク)E1Z(50mmストローク)※2E2XYトラッキングオートフォーカス装置※1:当社検査方法による。Lは任意の2点間の寸法(mm)※2:工場出荷検査時のみ実施ULTRAQV404400×400×200mmプログラム制御パワータレット1×-2×-6×B&WCCD(1/2型)(0.25+L/1000)µm(1.5+2L/1000)µm(範囲200mm)(1.0+2L/1000)µm(範囲10~60mm)(0.5+2L/1000)µm搭載あり/なしを選択■適用ハイパークイックビジョンWLI(非接触3D計測システム)HyperQVWLI●HyperQVWLIは、QVに白色光干渉計を搭載した複合型の高精度3D計測システムです。●WLI光学ヘッド部で取得した3Dデータから三次元表面性状解析が可能です。また3Dデータから指定高さでの寸法測定や任意断面形状の測定にも適しています。HyperQVWLI606■仕様項目測定範囲(X×Y×Z)WLI光学ヘッド部視野(H×V)繰返し精度画像光学ヘッド部観察装置撮像素子画像測定精度※2名称HyperQVWLI302HyperQVWLI404HyperQVWLI606画像測定エリアWLI測定エリア※1300×200×190mm215×200×190mm400×400×240mm315×400×240mm600×650×220mm515×650×220mm5×レンズ:約0.64×0.48mm/10×レンズ:約0.32×0.24mm/25×レンズ:約0.13×0.10mm/50×レンズ:約0.064×0.048mm2σ≦0.08µmプログラム制御パワータレット1×-2×-6×E1X,E1YE1ZE2XYB&WCCD(1/2型)(0.8+2L/1000)µm(1.5+2L/1000)µm(1.4+3L/1000)µm詳しくは、「ハイパークイックビジョンWLIシリーズ」CatalogNo.14001をご覧ください。※1:WLI光学ヘッドの可動範囲です。※2:当社検査方法による。Lは任意の2点間の寸法(mm)K-6