mitutoyo_総合カタログ_No13-53

■適用画像測定機微細形状スキャニングプローブ搭載画像測定機MiSCANVisionSystem●画像測定ヘッドとスキャニングプローブ(MPP-NANO、SP25M)を搭載したハイブリット画像測定機です。●最小径125µmのスタイラスを搭載可能な新開発「MPP-NANO」プローブで微細領域での3Dスキャニング測定を実現し、スキャニング測定で高い実績を誇るSP25Mへも対応しています。●観察カメラを搭載し、ワークの汚れ・キズの有無を確認しながら容易にアプローチできます。●画像測定機のベストセラーQuickVisionシリーズと同じ画像ヘッドを採用し、画像測定においても高いパフォーマンスを発揮します。■仕様項目測定範囲(X×Y×Z)撮像素子観察装置照明装置接触式プローブ測定精度※スキャニング精度プロービング精度繰返し精度(σ)精度保証温度画像で正確に位置決めMPP-NANOスタイラスで測定名称HyperMVS302HyperMVS404MVSApex404画像測定エリアMPP-NANO/SP25M300×200×200mm175×200×200mm400×400×250mm275×400×250mmB&WCCDカメラパワータレット1×-2×-6×透過、落射、PRL照明E1X/E1YE1ZE2XYMPP-NANOSP25MMPP-NANOSP25MMPP-NANOSP25MMPP-NANO環境温度温度変化E0,MPEE0,MPEMPETHPPFTU,MPEMPP-NANO/SP25MSP25Mのみ(0.8+2L/1000)µm(1.5+2L/1000)µm(1.4+3L/1000)µm(1.5+3L/1000)µm(1.5+4L/1000)µm(2.0+4L/1000)µm(1.9+4L/1000)µmー(1.9+4L/1000)µm(2.5+6L/1000)µm0.6µm0.6µm0.05µm2.5µm1.9µmーーー2.7µm2.2µm18～23℃0.5℃/1Hかつ1℃/24H※:画像の精度は対物レンズQV-HR2.5×+チューブ2×の光学条件の場合の精度です。K-10詳しくは、「MiSCANVisionSystem」CatalogNo.14024をご覧ください。