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■複数画面にわたる測定測定部位の大きさによっては、1画面内に収まらない場合があり、測定できません。そこで、通常CCDセンサとステージを制御し画像を取得した位置情報を内部で管理しています。そのため、下記のように、大きいなサイズの円でも、ステージを移動しながらエッジを検出していくことで、測定が可能です。■ピントによるコントラストの変化エッジがぼやけているためコントラストが低いエッジが鮮明でコントラストが高い■ISO10360-7:2011(JISB7440-7:2015)の概要画像測定機専用の受入検査国際規格ISO10360-7:2011(JISB7440-7:2015)が2011年6月1日に発行されました。いくつかの検査項目がありますが、その中から、長さ測定誤差Eとプロービング誤差PF2Dの検査方法ついて説明します。長さ測定誤差E7つの異なる位置で5つの異なる長さを3回繰り返し測定(計105回)測定位置は、測定空間4対角と任意の3方向(初期設定:各軸に平行EX,EY,EZ)寸法標準器の熱膨張係数αが2×10-6/K以下のとき、8～13×10-6/Kの基準器での測定が追加される。位置位置コントラストコントラストプロービング誤差PF2D視野内の25の異なった場所を用いて基準円を円周均などに25点(14.4°ピッチ)測定したときの、25点からから計算される最小二乗円の中心から各測定点までの距離の幅(Max-Min)。■測定点の求め方機械本体系画像系MMzMyMx測定機本体の位置M=(Mx、My、Mz)VxVVy検出した位置(画像中心より)V=(Vx、Vy)実際の座標値はX=(Mx+Vx)Y=(My+Vy)Z=Mzとなります。このように、1つ1つの測定位置が実データとして管理しながら測定を行うため、1画面に収まらない寸法でも、問題なく測定が可能です。■オートフォーカスの原理CCDカメラの画像内からだけでは、平面測定は行えますが高さ測定は行えません。そこで、通常は高さ測定のオートフォーカス(AF)機構を備えています。ここでは一般的な画像を用いたAFの仕組みについて説明します。Z軸を上下に移動しながら、画像を解析します。解析はコントラストで、鮮明に見えていれば、コントラストはピークになり、ピントがずれていれば、コントラストが低くなります。したがって、コントラストがピークを示した高さがピントの合った位置ということになります。CCDZ座標ピント位置コントラストK-16
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