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フォームトレーサ■適用525シリーズフォームトレーサエクストリーム(CNC表面粗さ・輪郭形状測定機)SV-C4500CNC/SV-C4500CNCHYBRIDTYPE1■SV-C4500CNC●検出器交換により一台で表面粗さと輪郭形状が測定できる高精度触針式CNC表面粗さ・輪郭形状測定機です。●α軸付きタイプではX1軸を電動傾斜させることで、水平面、斜面の連続測定が可能です。また、輪郭用Z1軸検出器の自動測定力調整機能により、X1軸傾斜時でも測定力一定で自動測定が可能です。●Y軸テーブル付きでは複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大できます。●Z1軸検出器は衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止します。●PLCプログラマブルロジックコントローラ)との双方向通信(RS-232C)による外部制御機能(ExtI/O)をオプションでご用意しております。■SV-C4500CNCHYBRIDTYPE1●接触式の表面粗さと輪郭形状検出器に加え、非接触式検出器を搭載したHYBRIDタイプのCNC表面粗さ・輪郭形状測定機です。●Y軸が標準搭載されています。そのため、複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大できます。●Z1軸検出器は衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止します。●PLCプログラマブルロジックコントローラ)との双方向通信(RS-232C)による外部制御機能(ExtI/O)をオプションでご用意しております。SV-C4500CNC(輪郭形状測定用検出器装着例)(駆動部傾斜機構+Y軸テーブル付き仕様)SV-C4500CNCHYBRIDTYPE1(非接触検出器装着例)■SV-C4500CNC仕様※符号X1軸(駆動部)輪郭形状表面粗さZ1軸(検出部)輪郭形状表面粗さZ2軸(コラム)測定範囲分解能測長ユニット真直精度指示精度(20℃)真直精度測定範囲分解能測長ユニット指示精度(20℃)測定範囲分解能駆動範囲分解能SV-C4500CNC200mm0.05µm反射型リニアエンコーダ2µm/200mm±(0.8+4L/200)µmL:測定長さ(mm)0.5µm/200mm60mm(水平状態より±30mm)0.02µm円弧スケール±(0.8+|2H|/100)µmH:水平位置からの測定高さ(mm)800µm、80µm、8µm0.01µm、0.001µm、0.0001µm300mm仕様または500mm仕様より選択0.05µm※:測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。■SV-C4500CNCHYBRIDTYPE1仕様※1符号X1軸(駆動部)Y軸Z1軸Z2軸輪郭形状表面粗さ非接触輪郭形状表面粗さ非接触検出器CPS2525※2非接触検出器CPS0517※2測定範囲分解能測長ユニット真直精度(20℃)指示精度真直精度真直精度指示精度測定範囲分解能最大積載質量測定範囲分解能測長ユニット指示精度(20℃)測定範囲分解能測定範囲分解能測定範囲分解能駆動範囲分解能SV-C4500CNCHYBRIDTYPE1200mm0.05µm反射型リニアエンコーダ2µm/200mm±(0.8+4L/200)µmL:測定長さ(mm)0.5µm/200mm0.5µm/200mm±(0.8+4L/200)µmL:測定長さ(mm)200mm0.05µm20kg60mm(水平状態より±30mm)0.02µm円弧スケール±(0.8+|2H|/100)µmH:水平位置からの測定高さ(mm)800µm、80µm、8µm0.01µm、0.001µm、0.0001µm1.2mm25nm0.1mm5nm500mm0.05µm※1:測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。※2:CPS2525とCPS0517は選択搭載となります。L-13
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