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■適用フォームトレーサ525シリーズフォームトレーサエクストリーム(CNC表面性状測定機)CS-5000CNC/CS-H5000CNC●表面粗さと輪郭形状を一括測定可能な、高精度触針式CNC表面性状測定機です。●X1軸の最大駆動速度は40mm/s、(Y)、Z2軸の最大駆動速度は200mm/s。高速位置決めができ複数断面測定や複数ワーク測定の高いスループット化が可能です。●X1軸、Z1軸には高分解能リニアエンコーダを搭載し、X1軸、Z1軸共に高分解能を実現し、輪郭形状・表面粗さの一括測定に対応しています。●Z1軸検出器にはアクティブ制御方式を採用し動的測定力の変動を抑えたワイドレンジ測定が可能です。●Z1軸検出器には衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止します。●CS-5000CNCシリーズは、X1軸を電動傾斜でき、水平面、斜面の連続測定が可能です。●Y軸テーブル付きでは複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大できます。●PLC(プログラマブルロジックコントローラ)との双方向通信(RS-232C)による外部制御機能(ExtI/O)をオプションでご用意しております。アクティブ制御方式を採用したワイドレンジ検出器CS-H5000CNC(Y軸テーブル付き仕様)■仕様※符号X1軸α軸Z1軸(検出部)Z2軸(コラム)測定範囲分解能測長ユニット駆動速度測定速度測定方向真直精度指示精度(20℃)傾斜角度測定範囲分解能スタライス上下運動測長ユニット指示精度(20℃)測定力追従角度スタライス先端形状測定面方向移動範囲分解能測長ユニット駆動速度CNCモードジョイスティックモード標準長さスタライス使用時2倍長さスタライス使用時標準長さスタライス使用時2倍長さスタライス使用時標準長さスタライス使用時2倍長さスタライス使用時標準長さスタライス使用時2倍長さスタライズ使用時標準長さスタイラス標準長さポールスタイラス2倍長さスタイラス2倍長さスタイラス2倍長さポールスタイラスZ2軸タイプ:SZ2軸タイプ:HCNCモードジョイスティックモードベース部ベースサイズ(幅×奥行)ベース材質CS-5000CNCCS-H5000CNC200mm0.005µm透過形リニアエンコーダ最大40mm/s0〜40mm/s粗さ測定時:0.02、0.05、0.1、0.2mm/s、輪郭測定時:0.02、0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、2.0mm/s引き、押し両方向(0.1+0.0015L)µmL:駆動長さ(mm)(0.2+0.0015L)µmL:駆動長さ(mm)±(0.3+0.002L)µmL:駆動長さ(mm)-45°CCW)、+10°(CW)(0.05+0.0003L)µmL:駆動長さ(mm)(0.1+0.0015L)µmL:駆動長さ(mm)±(0.16+0.001L)µmL:駆動長さ(mm)0.0008µm0.0016µm12mm24mm円弧運動透過形リニアエンコーダ̶0.0008µm0.0016µm±(0.3+|0.02H|)µmH:測定高さ(mm)±(0.07+|0.02H|)µmH:測定高さ(mm)4mN一定0.75mN一定登り60°、下り60°(面性状による)先端半径5µm、先端角度40°、ダイヤモンド先端ボール半径0.25mm、サファイヤ先端半径5µm、先端角度40°、ダイヤモンド̶先端半径2µm、先端角度60°、ダイヤモンド先端ボール半径0.25mm、サファイヤ下向き300mm500mm0.05µm反射形リニアエンコーダ最大200mm/s0〜50mm/s750×600mm斑れい岩※:測定機本体構成品の一部に自然石を使用しているため、石表面に模様のある場合があります。L-14
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