JMPE（µm）標準価格11,600円12,100円11,300円11,900円12,000円12,400円13,200円13,800円デジマチックアナログ表示／標準形アナログ表示／高機能形アクセサリ・オプション31ø5ø31ø41ø5øSR4300505405SR420201009080ストレートステム先端球面ナット付きステム先端球面 ピッチ=0.1 mm ピッチ=0.5 mm■用途●半導体装置のテーブル送り、光学用光軸 調整装置の微細送りなど●Ｘ-Ｙテーブルでの使用例●ミラーホルダーでの使用例注： 0.1mmピッチのMHS-Aタイプは測定範囲が6.5mmに対し、標準（0.5mmピッチ）のMHSタイプは13mmとなっています。0.5mmピッチ品から交換した場合、0.1mmピッチ品の測定範囲は図のように測定範囲の中央部分で共用できるようになっています。MHT、MHT-A、MHC-Aタイプは完全互換です。符号測定範囲 （mm）0〜6.50〜5●推奨板厚寸法：6 mm148-143-10 MHS4-6.5FPA 質量：34 g止めねじ止めねじ性があり、簡単に交換ができます。●半導体装置のテーブル送り、光学用光軸調整装置の微細送りなどに使用できます。正目盛単位：mmスリーブ標識図スリーブ標識図（作動範囲）（作動範囲）（55）20.59.5目盛：3 mmの位置6.53.56.56.5139.520.5201009080ファインピッチ（スピンドルピッチ0.1 mm）目盛：6.5 mmの位置10504540標準形（スピンドルピッチ0.5 mm）（58.5）■スピンドルピッチ■ミラーホルダーでの使用例■MHS-A、MHS取付位置比較1009080MHT3-5FPMHT4-5FP148-142-10 MHS3-6.5FPA 質量：31 gナットM9.5×0.5ø9.509.5(17)23.5ø9.509.5(17)23.5-0.009-0.0090.0020.004目量 （mm）ステム形状先端形状目盛仕様最大許容誤差 ストレートナット付きストレートナット付きストレートナット付きストレートナット付き球面 （SR4）球面 （SR3）球面 （SR1.5）注：（ ）内の寸法はストロークエンドでの寸法です。3.531.5(38)3.531.5(38)03-28±2±5148シリーズ マイクロメータヘッド（高機能形） MHS-A/MHC-A/MHT/MHT-A ファインピッチ（0.1 mmピッチ）●スピンドル1回転で0.1 mm送りという、標準品 ●外観形状は標準タイプ（0.5 mmピッチ）と互換 比で1/5もの微細な位置決めが実現可能な高機能モデルです。マイクロメータヘッド■仕様コードNo.148-142-10MHS3-6.5FPA148-143-10MHS4-6.5FPA148-342-10MHC3-6.5CFPA148-343-10MHC4-6.5CFPA148-242-10MHT3-6.5FPA148-243-10MHT4-6.5FPA148-244148-245●測定面：材質/合金工具鋼、硬度/60 HRC以上、ラップ仕上げ●目盛部表面処理：硬質クロムメッキ注：推奨耐荷重限度に関しては03-43を参照ください。■外観寸法図ストレートステムナット付きステム
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