9ø819ø9ø42 6 . 4.0 . ... 96.2 4.0 . 96.6 4.0 .. 4.0 . 6.92 4.0 . ... 6.92 9ø01319ø8140909ø819ø9ø819ø9ø9ø9ø81014231 9ø9ø8101319ø9ø8140909ø0131ø2.4ø3.8 ø2.404Rø3.8 ø2.4ø2.4ø3.8 ø2.43.504Rø3.8 ø2.4小型表面粗さ測定機工具顕微鏡硬度計備考標準および前退避駆動ユニット用横駆動ユニット用標準および前退避駆動ユニット用備考最小測定穴径ø4.5 mm備考最小測定穴径ø2.8 mm備考横駆動ユニットでの使用は不可60.3スタイラス12.81.60.860.3スタイラス12.81.60.816.43.54.81.512.660°16.20.61.43.54.81.53.5ø2.412.816.416.41.60.83.524.84.81.51.516.212.660°3.54.81.50.61.43.516.44.81.561スタイラス59.560.1※：先端半径/先端角度スタイラス60.7スタイラス60.361スタイラススタイラス61スタイラス59.560.760.1スタイラススタイラス61スタイラス60.716.2スタイラス3.54.81.561スタイラス3.516.460.3スタイラス12.84.81.61.50.860.716.2スタイラス3.54.81.560.361スタイラススタイラス12.816.41.60.84.81.5標準検出器小穴用検出器極小穴用検出器歯車用検出器深溝用検出器検出器コードNo.178-296178-390178-387178-386178-391※：先端半径/先端角度コードNo.178-383178-392コードNo.178-384178-393※：先端半径/先端角度コードNo.178-388178-398※：先端半径/先端角度コードNo.178-385178-394※：先端半径/先端角度測定力0.75 mN4 mN0.75 mNスタイラス形状※2 µmR/60˚5 µmR/90˚2 µmR/60˚5 µmR/90˚10 µmR/90˚4 mN測定力0.75 mN4 mNスタイラス形状※2 µmR/60˚5 µmR/90˚測定力0.75 mN4 mNスタイラス形状※2 µmR/60˚5 µmR/90˚測定力0.75 mN4 mNスタイラス形状※2 µmR/60˚5 µmR/60˚測定力0.75 mN4 mNスタイラス形状※2 µmR/60˚5 µmR/90˚10-5単位：mmサーフテストサーフテストSJ-210/310シリーズ用アクセサリ（オプション）
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